一種光學元件光學表面面形掃描用位移臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921212988.2 申請日 -
公開（公告）號 CN210268551U 公開（公告）日 2020-04-07
申請公布號 CN210268551U 申請公布日 2020-04-07
分類號 G01B11/24;G01B11/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王曰明;李明富;梁邦遠;王世雷;孫佳卓 申請（專利權(quán)）人 青島前哨精密儀器有限公司
代理機構(gòu) 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 張曉
地址 266000 山東省青島市高新區(qū)錦暄路61號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種光學元件光學表面面形掃描用位移臺，包括基座，基座的左、右兩端垂直固定設置有立柱，兩個立柱的頂部垂直固定設置有橫梁；基座的上表面設置有平臺；平臺的底部設置有第一方向標尺光柵，基座上固定設置有第一光柵讀數(shù)頭；橫梁的前端面上設置有第一滑臺和第二滑臺；橫梁的前端面設置有第二方向標尺光柵，第一滑臺上固定設置有第二光柵讀數(shù)頭；第二滑臺上固定設置有第二光柵讀數(shù)頭。本實用新型中平臺、第一滑臺、第二滑臺均由直線電機控制滑動，直線電機的傳動精度高、動態(tài)響應快、穩(wěn)定性高，同時在各個相應的光柵尺位移傳感器的配合下，能夠通過位移反饋出待檢測光學元件的相應位置，且定位精度較高。