體聲波諧振器及其制造方法和濾波器、射頻通信系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910273067.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111786652B 公開（公告）日 2022-05-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN111786652B 申請(qǐng)公布日 2022-05-10
分類號(hào) H03H9/15（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I;H03H9/46（2006.01）I;H03H9/54（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 羅海龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中芯集成電路（寧波）有限公司上海分公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路85弄95號(hào)1幢3樓C區(qū)309
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種體聲波諧振器及其制造方法和濾波器、射頻通信系統(tǒng)，形成于壓電諧振層外圍的且懸空于空腔上方的底電極凸起部和頂電極凸起部，能夠阻擋壓電諧振層產(chǎn)生的橫波向空腔外圍傳輸，將橫波反射回有效工作區(qū)中，繼而減少和降低了聲波損耗，使諧振器的品質(zhì)因子得到提高，最終能夠提高器件性能。進(jìn)一步地，底電極搭接部和頂電極搭接部與空腔的重疊部分均是懸空的，且底電極搭接部和頂電極搭接部相互錯(cuò)開，可以大大降低寄生參數(shù)，并避免漏電、短路等問題，能夠提高器件可靠性。