移動機(jī)構(gòu)及其形成方法、驅(qū)動方法、電子設(shè)備和成像裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010705565.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113965691A 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN113965691A 申請公布日 2022-01-21
分類號 H04N5/232（2006.01）I;H04N5/225（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 韓鳳芹;桂珞;王邦旭 申請（專利權(quán)）人 中芯集成電路（寧波）有限公司上海分公司
代理機(jī)構(gòu) 上海知錦知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 高靜
地址 201210上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路85弄95號1幢3樓C區(qū)309
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種移動機(jī)構(gòu)及其形成方法、驅(qū)動方法、電子設(shè)備和成像裝置，移動機(jī)構(gòu)包括：固定平臺；橫向驅(qū)動電極，位于固定平臺上；橫向可動電極，相對于橫向驅(qū)動電極橫向排布且有預(yù)設(shè)間距，包括與橫向驅(qū)動電極相對的第一橫向可動電極；第一縱向驅(qū)動電極，位于固定平臺上；縱向可動電極，相對于第一縱向驅(qū)動電極縱向排布且連接橫向可動電極；導(dǎo)線，一端固定，另一端與橫向可動電極或縱向可動電極固定電性連接；第一吸合電極，位于橫向可動電極上方，第一吸合電極通過隔離層與第一橫向可動電極固定連接；可移動平臺，包括第二吸合電極和可動極板，第二吸合電極在縱向上與第一吸合電極相對設(shè)置。本發(fā)明移動機(jī)構(gòu)的移動精度高。