薄膜表聲波諧振器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011280224.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114513180A 公開（公告）日 2022-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN114513180A 申請(qǐng)公布日 2022-05-17
分類號(hào) H03H3/02（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 黃河;羅海龍;李偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中芯集成電路（寧波）有限公司上海分公司
代理機(jī)構(gòu) 北京思創(chuàng)大成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 201210上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蔡倫路85弄95號(hào)1幢3樓C區(qū)309
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種薄膜表聲波諧振器及其制造方法，其中，薄膜表聲波諧振器包括：具有多個(gè)第一叉指的第一叉指電極、具有多個(gè)第二叉指的第二叉指電極，第一叉指與第二叉指間隔設(shè)置；第一連接線，至少位于第一叉指的其中一端，與第一叉指電連接；第二連接線，至少位于第二叉指的其中一端，與第二叉指電連接；第一連接線與第一叉指之間具有第一間隙，第一連接線與第一叉指通過跨越第一間隙的第一互連電極連接；和/或，第二連接線與第二叉指之間具有第二間隙，第二連接線與第二叉指通過跨越第二間隙的第二互連電極連接。本發(fā)明將叉指與相應(yīng)連接線通過相應(yīng)間隙隔開，以降低叉指之外的金屬結(jié)構(gòu)對(duì)叉指的振動(dòng)阻礙，同時(shí)避免對(duì)叉指端部的表面聲波造成擾動(dòng)。