表聲波諧振器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010761041.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114070256A 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN114070256A 申請公布日 2022-02-18
分類號 H03H9/25（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 黃河;李偉;羅海龍 申請（專利權(quán)）人 中芯集成電路（寧波）有限公司上海分公司
代理機(jī)構(gòu) 北京思創(chuàng)大成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉亭
地址 201210上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)蔡倫路85弄95號1幢3樓C區(qū)309
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種表聲波諧振器及其制造方法，所述表聲波諧振器包括：基板及設(shè)置于基板上的壓電層；叉指換能器，設(shè)置于壓電層的上表面；叉指換能器的間隙之間設(shè)有第一介質(zhì)層，至少部分第一介質(zhì)層的下表面與壓電層的上表面之間設(shè)有第一空腔。本發(fā)明通過在第一介質(zhì)層臨近壓電層一側(cè)開設(shè)第一空腔，使得叉指換能器的間隙之間的第一介質(zhì)層懸空，以便于將沿壓電層表面?zhèn)鞑ブ恋谝唤橘|(zhì)層懸空處的聲波反射回去，從而減少聲波的損耗；通過叉指換能器將第一空腔分割為多個子第一空腔，以便于將叉指換能器臨近于壓電層表面的部分暴露于空氣中，從而便于消除叉指換能器邊界的雜波，進(jìn)而提升諧振器的整體性能。