快速測量薄膜材料的熱導(dǎo)率的裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711130271.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107843616B 公開（公告）日 2020-05-22
申請公布號 CN107843616B 申請公布日 2020-05-22
分類號 G01N25/20 分類 測量；測試;
發(fā)明人 項曉東;武躍維;汪曉平 申請（專利權(quán)）人 寧波星河材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海一平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 姜龍;徐迅
地址 315000 浙江省寧波市寧波高新區(qū)聚賢路1299號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種快速測量薄膜材料的熱導(dǎo)率的裝置和方法，具體地，該裝置包括控制設(shè)備、時鐘同步器、激光器、快速測溫儀以及熱導(dǎo)率輸出設(shè)備；控制設(shè)備和時鐘同步器信號連接，時鐘同步器同時與激光器和快速測溫儀信號連接；在工作狀態(tài)下，控制設(shè)備向時鐘同步器發(fā)送啟動信號，激光器和快速測溫儀協(xié)調(diào)聯(lián)動，激光器發(fā)出激光照射到樣品表面，與此同時，快速測溫儀捕捉在樣品加熱過程中不同時間點，同一指定位置的樣品的表面溫度，將測得的數(shù)據(jù)輸入熱導(dǎo)率輸出設(shè)備，得到所需熱導(dǎo)率參數(shù)。本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)簡單，方法高效準(zhǔn)確，可為目前的各種超薄半導(dǎo)體薄膜熱物性的設(shè)置提供可靠的參數(shù)數(shù)據(jù)。