一種橢圓偏振光測量裝置及測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710894030.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109270000B 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN109270000B 申請公布日 2021-10-01
分類號 G01N21/21（2006.01）I;G01J4/04（2006.01）I;G01J4/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 汪曉平;陳良堯;項曉東 申請（專利權）人 寧波星河材料科技有限公司
代理機構 深圳市智享知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 王琴;藺顯俊
地址 315000浙江省寧波市高新區(qū)聚賢路1299號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種橢圓偏振光測量裝置，其包括依次經(jīng)光路連接的光源、起偏器、樣品架、集成檢偏器以及探測器組件；所述樣品架用于放置待測樣品，光源發(fā)出的光線經(jīng)過起偏器照射到待測樣品，待測樣品將光反射到所述集成檢偏器；所述集成檢偏器包括多個偏振器，每個偏振器的方位角在0?180°之間分布，從待測樣品反射出來的光線入射到偏振器；所述探測器組件包括多個探測器，所述探測器與所述偏振器一一對應設置，獨立檢測每一偏振器的光學信號。本發(fā)明所提供的高速橢圓偏振光測量系統(tǒng)具有采樣效率更高，可以快速獲取偏振器接近納秒級別的高速動態(tài)參數(shù)的優(yōu)點，本發(fā)明還提供一種橢圓偏振光測量方法。