一種高通量電子束組合材料蒸發(fā)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921276030.X 申請日 -
公開（公告）號 CN210287496U 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN210287496U 申請公布日 2020-04-10
分類號 C23C14/30;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/54 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 余應明;郭鴻杰;魯森錢 申請（專利權(quán)）人 寧波星河材料科技有限公司
代理機構(gòu) 上海一平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐迅;唐雪嬌
地址 315000 浙江省寧波市寧波高新區(qū)寧波新材料創(chuàng)新中心東區(qū)1幢1號10-4-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及真空鍍膜系統(tǒng)領域，公開了一種高通量電子束組合材料蒸發(fā)系統(tǒng)。該高通量電子束組合材料蒸發(fā)系統(tǒng)包括：真空腔體，所述真空腔體設置為真空；電子束蒸發(fā)裝置，設置于所述真空腔體下部；基片托架，設置于所述真空腔體上部，用于放置基片；連續(xù)掩膜裝置和/或分立掩膜裝置，設置于所述真空腔體上部，位于所述基片托架和所述電子束蒸發(fā)裝置之間。本實用新型的高通量電子束組合材料蒸發(fā)系統(tǒng)，實現(xiàn)了高通量材料樣品的制備，大大提高了組合材料樣品的制備效率。