PECVD設(shè)備無載板硅片傳送機構(gòu)及與該傳送機構(gòu)配合的工藝腔室

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010940861.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111916383A 公開（公告）日 2020-11-10
申請公布號 CN111916383A 申請公布日 2020-11-10
分類號 H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊寶海;楊娜;潘家永;許偉偉;宋玉超;李軼軍;李翔;李敦信;李義升 申請（專利權(quán)）人 營口金辰機械股份有限公司
代理機構(gòu) 沈陽亞泰專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 營口金辰機械股份有限公司
地址 115000遼寧省營口市沿海產(chǎn)業(yè)基地新港大街95號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 PECVD設(shè)備無載板硅片傳送機構(gòu)及與該傳送機構(gòu)配合的工藝腔室涉及太陽能電池設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及用于制造異質(zhì)結(jié)太陽能電池的PECVD設(shè)備無載板硅片傳送機構(gòu)及與該傳送機構(gòu)配合的工藝腔室。本發(fā)明提供一種不需要使用載板，成本低廉，提高產(chǎn)能的PECVD設(shè)備無載板的硅片傳送機構(gòu)及與該傳送機構(gòu)配合的工藝腔室。本發(fā)明的無載板硅片傳送機構(gòu)，包括取片裝置，其特征在于：取片裝置底部設(shè)置有抓手。??