一種清除腔室碎片的裝置及PECVD設(shè)備的碎片清除方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011367087.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112317456A | 公開（公告）日 | 2021-02-05 |
| 申請公布號 | CN112317456A | 申請公布日 | 2021-02-05 |
| 分類號 | B08B6/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類 | 清潔; |
| 發(fā)明人 | 楊寶海;德克.赫伯曼;楊娜;潘家永;許偉偉;宋玉超;烏維.赫伯曼;李軼軍;李翔;李敦信;李義升 | 申請（專利權(quán)）人 | 營口金辰機械股份有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 沈陽亞泰專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 周濤 |
| 地址 | 115000遼寧省營口市沿海產(chǎn)業(yè)基地新港大街95號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種清除腔室碎片的裝置及PECVD設(shè)備的碎片清除方法涉及光伏設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及光伏用的板式PECVD設(shè)備和腔室碎片清除裝置及碎片清除方法。本發(fā)明包括抓手裝置、靜電發(fā)生裝置和碎片清除板，其特征在于：所述碎片清除板與靜電發(fā)生裝置相配合，所述抓手裝置與碎片清除板相配合。?? |
