金線鍵壓機(jī)用氮?dú)夤庀到y(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720130200.8 申請日 -
公開（公告）號 CN206480603U 公開（公告）日 2017-09-08
申請公布號 CN206480603U 申請公布日 2017-09-08
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 奚彼琳;唐東鷹;施展 申請（專利權(quán)）人 上海紀(jì)元微科電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京紐樂康知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳興強(qiáng)
地址 200031 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)郭守敬路351號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種金線鍵壓機(jī)用氮?dú)夤庀到y(tǒng)，至少包括鍵壓機(jī)工作臺(tái)底座，所述工作臺(tái)底座上還設(shè)置有氮?dú)膺M(jìn)氣孔和氮?dú)獬鰵饪?，所述氮?dú)膺M(jìn)氣孔與真空管道連接器上的氮?dú)獬鰵饪紫鄬?yīng)，所述氮?dú)獬鰵饪着c設(shè)置于所述工作臺(tái)底座上的鍵壓壓板的進(jìn)氣孔相對應(yīng)；所述氮?dú)夤庀到y(tǒng)還包括用于自動(dòng)控制氮?dú)夤?yīng)與斷氣之間的切換的電磁閥以及用于對氮?dú)饬髁窟M(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控的流量計(jì)，所述電磁閥連接于工控機(jī)；所述流量計(jì)與所述工控機(jī)相連通形成一用于實(shí)施監(jiān)控氮?dú)饬髁康男盘柣芈?。本?shí)用新型自動(dòng)化程度高、質(zhì)量穩(wěn)定可靠、成本低。