石墨烯薄膜在轉(zhuǎn)移中的化學(xué)除雜方法及其設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711142645.9 申請日 -
公開（公告）號 CN108033444B 公開（公告）日 2021-06-15
申請公布號 CN108033444B 申請公布日 2021-06-15
分類號 C01B32/196（2017.01）I;C01B32/194（2017.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李濤;張洪濤 申請（專利權(quán)）人 常州第六元素半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京世衡知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 肖淑芳;郝文博
地址 214000 江蘇省無錫市惠山經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)長安工業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)廠房中惠路518-5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種用于石墨烯薄膜在轉(zhuǎn)移中的連續(xù)除雜方法、設(shè)備、及石墨烯傳移方法，其中，所述設(shè)備包括：傳動裝置、化學(xué)腐蝕段、水洗段、減水段、及烘干段，所述傳動裝置貫穿于化學(xué)腐蝕段、水洗段、減水段、及烘干段，從傳動裝置的行走方向的上游到下游依次為化學(xué)腐蝕段、水洗段、減水段、及烘干段。