一種電容式直線位移傳感器及其動尺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911320899.4 申請日 -
公開(公告)號 CN113008120A 公開(公告)日 2021-06-22
申請公布號 CN113008120A 申請公布日 2021-06-22
分類號 G01B7/02 分類 測量;測試;
發(fā)明人 彭凱;于治成;劉小康;王合文;蒲紅吉 申請(專利權(quán))人 重慶理工大資產(chǎn)經(jīng)營管理有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 重慶華科專利事務(wù)所 代理人 康海燕;唐錫嬌
地址 400054 重慶市巴南區(qū)李家沱紅光大道69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種電容式直線位移傳感器及其動尺,動尺包括動尺基體和感應(yīng)電極,感應(yīng)電極具有三測頭或四測頭的結(jié)構(gòu)形式,傳感器包括定尺和動尺,定尺包括定尺基體和激勵電極,激勵電極的A相激勵信號引線與C相激勵信號引線在激勵電極的一側(cè)組成雙絞線,B相激勵信號引線與D相激勵信號引線在激勵電極的另一側(cè)組成雙絞線。雙絞線的結(jié)構(gòu)形式能消除引線串擾,從而減小干擾信號對測量精度的影響,保證測量精度;三測頭或四測頭的結(jié)構(gòu)形式,能提高感應(yīng)電極的面積利用率,增大了耦合電容值,從而提高了信噪比,并且對其輸出信號進行數(shù)據(jù)融合,還可以有效地消除某些特定頻率的諧波誤差,進一步提高測量精度。