一種顆粒狀多晶硅雜質(zhì)元素的檢測(cè)采樣裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123246359.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216746915U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216746915U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-14 |
| 分類號(hào) | G01N1/10（2006.01）I;C30B13/14（2006.01）I;C30B13/20（2006.01）I;C30B13/28（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 陳斌;安紅軍;汪成洋;張孝山;史長(zhǎng)岳;都強(qiáng);甘易武;宗冰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 青海亞洲硅業(yè)半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 成都華風(fēng)專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 810007青海省西寧市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)金硅路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種顆粒狀多晶硅雜質(zhì)元素的檢測(cè)采樣裝置，屬于多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，本裝置包括區(qū)熔爐（1）和設(shè)于區(qū)熔爐（1）中的采樣裝置，采樣裝置包括設(shè)于區(qū)熔爐（1）上部的移動(dòng)上軸（2）、籽晶夾頭（3）和籽晶（4）、設(shè)于區(qū)熔爐（1）下部的移動(dòng)下軸（5）、顆粒硅載體（7）和顆粒硅（8），以及設(shè)于籽晶（4）與顆粒硅（8）之間的加熱線圈（9）；移動(dòng)下軸（5）的下端與區(qū)熔爐（1）底部連接，移動(dòng)下軸（5）的上端與所述顆粒硅載體（7）連接，所述顆粒硅（8）設(shè)置于所述顆粒硅載體（7）中；本實(shí)用新型所述顆粒硅載體（7）為高純多晶硅柱，使用多晶硅載體替代傳統(tǒng)的石英試管或坩堝，避免采樣過(guò)程中的二次污染，保證檢測(cè)的準(zhǔn)確性。 |
