一種氯硅烷檢測樣品的前處理系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122929768.5 申請日 -
公開（公告）號 CN217033263U 公開（公告）日 2022-07-22
申請公布號 CN217033263U 申請公布日 2022-07-22
分類號 G01N1/28（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 安軍林;朱芙蓉;陳英春;陳英;曹巖德;魏東亮;邢成莉;姜濤 申請（專利權(quán)）人 青海亞洲硅業(yè)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都華風(fēng)專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 810007青海省西寧市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)金硅路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種氯硅烷檢測樣品的前處理系統(tǒng)，屬于化工檢測技術(shù)領(lǐng)域，包括低溫吸收揮發(fā)裝置，所述低溫吸收揮發(fā)裝置包括冷凝子裝置和采樣瓶（12），采樣瓶（12）設(shè)于冷凝子裝置中，采樣瓶（12）輸入端通入有氯硅烷樣品。本實(shí)用新型通過冷凝子裝置配合采樣瓶得到氯硅烷樣品的凝液，實(shí)現(xiàn)了低沸點(diǎn)、易揮發(fā)氯硅烷檢測樣品的前處理；整個前處理過程完全密封，一方面能夠避免氯硅烷樣品直接與空氣接觸；另一方面能夠保證氯硅烷樣品充分冷凝，進(jìn)而從氯硅烷樣品中獲取檢測樣品，以此保證檢測樣品制備的準(zhǔn)確性與可靠性。