含氟光致產(chǎn)酸劑及其制備方法與應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110872948.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113548988A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN113548988A 申請(qǐng)公布日 2021-10-26
分類(lèi)號(hào) C07C309/42（2006.01）I;C07C303/32（2006.01）I;C07C381/12（2006.01）I;C08F220/18（2006.01）I;C08F220/38（2006.01）I;C08F220/32（2006.01）I;C08F212/14（2006.01）I;G03F7/004（2006.01）I 分類(lèi) 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 董其寶;符勇 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 安徽慶潤(rùn)新材料技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市浩智運(yùn)專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 繆璐歡
地址 230088安徽省合肥市高新區(qū)望江西路5089號(hào)中國(guó)科技大學(xué)先進(jìn)技術(shù)研究院嵌入式研發(fā)樓103-B1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種含氟光致產(chǎn)酸劑，涉及光敏樹(shù)脂合成技術(shù)領(lǐng)域，含氟光致產(chǎn)酸劑包括結(jié)構(gòu)式E、結(jié)構(gòu)式F所示的化合物中的一種或兩種，或所述含氟光致產(chǎn)酸劑的結(jié)構(gòu)式為結(jié)構(gòu)式E或結(jié)構(gòu)式F如下：本發(fā)明還提供上述本發(fā)明的含氟光致產(chǎn)酸劑的制備方法及應(yīng)用。本發(fā)明的有益效果在于：本發(fā)明的含氟光致產(chǎn)酸劑及其光敏樹(shù)脂在193nm處具有低吸收，較高的光學(xué)透明性；具有較高的熱穩(wěn)定性能。將產(chǎn)酸劑接枝到聚合物主鏈上與其他功能性的單體進(jìn)行共聚，可以有效的降低相分離，防止產(chǎn)酸劑產(chǎn)生的H+向未曝光區(qū)域擴(kuò)散，降低LER，提高感光度和分辨率，同時(shí)也具有較低的氣體排放的優(yōu)點(diǎn)。