一種用于晶圓加工中的環(huán)保型底材

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910141988.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109760394A 公開(kāi)（公告）日 2019-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN109760394A 申請(qǐng)公布日 2019-05-17
分類(lèi)號(hào) B32B27/32（2006.01）I; B32B27/08（2006.01）I; B32B27/06（2006.01）I; H01L21/304（2006.01）I 分類(lèi) 層狀產(chǎn)品;
發(fā)明人 夏枝巧; 朱秀梅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海百卡新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市科吉華烽知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海百卡新材料科技有限公司
地址 201400 上海市奉賢區(qū)南橋鎮(zhèn)南橋路262號(hào)435室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于晶圓加工中的環(huán)保型底材，涉及晶圓加工領(lǐng)域，要解決的是晶圓加工的縱向橫向擴(kuò)張不均勻、晶圓切割時(shí)有塑膠絲污染晶圓等問(wèn)題。本產(chǎn)品包括上層、中層和下層，所述上層的下表面與中層的上表面相貼合，中層的下表面與下層的上表面相貼合，上層、中層和下層采用三層共擠的工藝制作，上層、中層和下層均采用聚乙烯和聚丙烯的共聚物制作。本產(chǎn)品設(shè)計(jì)合理，通過(guò)在上層和中層使用聚乙烯及聚丙烯的共聚物,既可以改善聚乙烯因軟化點(diǎn)低造成絲狀物的污染,亦可改善聚丙烯不具柔軟性；本產(chǎn)品采用三層共擠的生產(chǎn)方法,精密的控制生產(chǎn)條件,采用流延的生產(chǎn)方法可以使得生產(chǎn)出的UV膜縱向及橫向擴(kuò)張(延伸)均勻，使用效果好。