一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120568117.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214672525U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN214672525U 申請(qǐng)公布日 2021-11-09
分類(lèi)號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫拓夫;陳名佶;王彩英;奚君 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蕪湖致通汽車(chē)電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中政聯(lián)科專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 謝愷
地址 241000安徽省蕪湖市衡山路35號(hào)汽車(chē)電子創(chuàng)業(yè)園A座8樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種高效型傳感器單晶硅刻蝕裝置，涉及刻蝕裝置技術(shù)領(lǐng)域，包括裝置外殼，所述裝置外殼的頂部設(shè)置有風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通有風(fēng)管。本實(shí)用新型，電機(jī)帶動(dòng)牽引軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，在牽引軸的轉(zhuǎn)動(dòng)下?tīng)恳K能夠拉動(dòng)一個(gè)滾輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)?shù)谝粋€(gè)滾輪開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，銜接繩會(huì)拉動(dòng)其他的滾輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，因此來(lái)達(dá)到對(duì)單晶硅本體在裝置外殼的內(nèi)部進(jìn)行穩(wěn)定傳動(dòng)的目的，使得裝置能夠?qū)尉Ч璞倔w進(jìn)行穩(wěn)定的刻蝕，提高了裝置的實(shí)用性，在刻蝕過(guò)程中風(fēng)機(jī)將風(fēng)通過(guò)風(fēng)管輸送至裝置外殼的內(nèi)部，再由透風(fēng)板輸出，從而達(dá)到了風(fēng)向的流通的目的，有利于裝置在刻蝕過(guò)程中能夠保持一個(gè)好的通風(fēng)環(huán)境，提高了裝置的工作效率，使得裝置能夠進(jìn)行高效的對(duì)單晶刻蝕。