非極性面Ⅲ族氮化物外延結(jié)構(gòu)及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811003470.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109148654B 公開（公告）日 2020-04-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN109148654B 申請(qǐng)公布日 2020-04-07
分類號(hào) H01L33/00;H01L33/02;H01L33/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邢琨;陳剛毅;王江濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蕪湖德豪潤(rùn)達(dá)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 蕪湖德豪潤(rùn)達(dá)光電科技有限公司
地址 241000 安徽省蕪湖市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)緯二次路11號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種非極性面Ⅲ族氮化物外延結(jié)構(gòu)，包括襯底以及外延生長(zhǎng)在所述襯底的非極性面上的相互間隔的多個(gè)二次外延柱狀結(jié)構(gòu)，所述二次外延柱狀結(jié)構(gòu)包括沿垂直于所述襯底的所述非極性面方向依次疊加的成核層、第一非極性面Ⅲ族氮化物層、掩膜層以及第二非極性面Ⅲ族氮化物層，所述第一非極性面Ⅲ族氮化物層和所述第二非極性面Ⅲ族氮化物層的外延生長(zhǎng)表面為Ⅲ族氮化物的非極性面。本發(fā)明還公開了一種非極性面Ⅲ族氮化物外延結(jié)構(gòu)的制備方法。