非極性面Ⅲ族氮化物外延結(jié)構(gòu)及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811003470.8 申請日 -
公開（公告）號 CN109148654B 公開（公告）日 2020-04-07
申請公布號 CN109148654B 申請公布日 2020-04-07
分類號 H01L33/00;H01L33/02;H01L33/32 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 邢琨;陳剛毅;王江濤 申請（專利權(quán)）人 蕪湖德豪潤達光電科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州華進聯(lián)合專利商標代理有限公司 代理人 蕪湖德豪潤達光電科技有限公司
地址 241000 安徽省蕪湖市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)緯二次路11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種非極性面Ⅲ族氮化物外延結(jié)構(gòu)，包括襯底以及外延生長在所述襯底的非極性面上的相互間隔的多個二次外延柱狀結(jié)構(gòu)，所述二次外延柱狀結(jié)構(gòu)包括沿垂直于所述襯底的所述非極性面方向依次疊加的成核層、第一非極性面Ⅲ族氮化物層、掩膜層以及第二非極性面Ⅲ族氮化物層，所述第一非極性面Ⅲ族氮化物層和所述第二非極性面Ⅲ族氮化物層的外延生長表面為Ⅲ族氮化物的非極性面。本發(fā)明還公開了一種非極性面Ⅲ族氮化物外延結(jié)構(gòu)的制備方法。