一種聲學(xué)諧振器組件及濾波器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010990291.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112187212B 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN112187212B 申請公布日 2021-12-07
分類號 H03H9/25（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請（專利權(quán)）人 杭州星闔科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳遠(yuǎn)洋
地址 310016浙江省杭州市上城區(qū)錢江國際商務(wù)中心1416室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種聲學(xué)諧振器組件及濾波器，聲學(xué)諧振器組件包括至少兩個(gè)相互垂直連接的聲學(xué)諧振器，聲學(xué)諧振器包括：分別設(shè)置在襯底上的聲學(xué)鏡、底電極層、壓電層以及頂電極層，聲學(xué)諧振器的有效區(qū)域由聲學(xué)鏡、底電極層、壓電層和頂電極層的重疊部分定義，聲學(xué)諧振器還包括支撐層，其設(shè)置在聲學(xué)鏡投影于襯底的區(qū)域外圍的襯底或壓電層上，至少兩個(gè)相互垂直連接的聲學(xué)諧振器通過在支撐層上進(jìn)行連接。本發(fā)明加工的濾波器顯著降低器件的體積65％以及面積40％，提升了設(shè)計(jì)自由度而降低設(shè)計(jì)難度，優(yōu)化了工藝制程并提高工藝兼容性，增強(qiáng)了產(chǎn)品性能又大幅度降低成本。