一種體聲波諧振器的制造工藝和體聲波諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011024256.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112202415A 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN112202415A 申請公布日 2021-09-24
分類號 H03H3/02;H03H9/02;H03H9/17 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請（專利權(quán)）人 杭州星闔科技有限公司
代理機構(gòu) 廈門福貝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳遠洋
地址 310016 浙江省杭州市上城區(qū)錢江國際商務(wù)中心1416室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種體聲波諧振器的制造工藝，包括在襯底上制作聲反射鏡，在襯底上制作用于覆蓋聲反射鏡的底電極層；對底電極層的外圍部分進行化學處理以形成改性層，改性層環(huán)繞底電極層；在底電極層上制作壓電層；在壓電層上制作頂電極層。還公開了一種體聲波諧振器，包括襯底、形成在襯底上的聲反射鏡以及依次形成具有聲反射鏡的襯底上的底電極層、壓電層和頂電極層，其中底電極層的臨近聲反射鏡的邊緣的部分被化學處理以形成改性層。憑借改性層的形成削弱或消除了有效工作區(qū)域外電極之間的電場強度，電極無法激勵其間的壓電層產(chǎn)生機械波而抑制了諧振器寄生振蕩，同時大大簡化了頂電極的布線。