一種體聲波諧振器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110598312.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113346864B 公開（公告）日 2022-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN113346864B 申請(qǐng)公布日 2022-01-04
分類號(hào) H03H9/17（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 李林萍;盛荊浩;江舟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州星闔科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳遠(yuǎn)洋
地址 310016浙江省杭州市上城區(qū)錢江國(guó)際商務(wù)中心1416室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開了一種體聲波諧振器，包括襯底和設(shè)置在襯底上的諧振功能層，諧振功能層與襯底包圍形成諧振腔，諧振功能層包括依次形成在襯底上的底電極層、壓電層和頂電極層，還包括在諧振腔周邊形成的釋放腔，釋放腔與諧振腔位于不同平面且相互錯(cuò)位連通。還公開了一種用于體聲波諧振器的制作方法，在襯底的表面上制作一個(gè)或多個(gè)凹槽，沉積犧牲材料以填充凹槽并在襯底表面形成至少覆蓋凹槽之間的襯底表面和部分凹槽犧牲層，依次形成底電極、壓電層和頂電極層，利用釋放藥液經(jīng)由從底電極層未覆蓋區(qū)域穿過(guò)壓電層以到達(dá)凹槽對(duì)應(yīng)位置釋放孔釋放犧牲材料。本申請(qǐng)避免了犧牲層釋放過(guò)程中應(yīng)力突變的問(wèn)題，空腔結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和器件諧振性能的一致性得到顯著提升。