一種分段式單晶硅加料器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821423126.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN208803161U 公開(kāi)（公告）日 2019-04-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN208803161U 申請(qǐng)公布日 2019-04-30
分類號(hào) C30B15/02（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 李倩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市諾晨信有機(jī)硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 代理人 深圳市諾晨信有機(jī)硅材料有限公司
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)福永街道塘尾和沙路富民工業(yè)區(qū)B2棟第一層B
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種分段式單晶硅加料器，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括溶料罐、加料管、料斗和管底，溶料罐右側(cè)貫穿設(shè)置有加料管，加料管上方貫穿設(shè)置有料斗，料斗底部固定連接有有管底，且管底與上方加料管呈貫穿設(shè)置，并且管底左側(cè)連接端與溶料罐固定連接，溶料罐包括進(jìn)料口、出料口和進(jìn)料管，進(jìn)料口固定連接在溶料罐上方中部，出料口固定連接在溶料罐下方中部。該裝置中設(shè)置有伺服電機(jī)和螺旋桿，通過(guò)伺服電機(jī)動(dòng)力端和螺旋桿連接端轉(zhuǎn)動(dòng)連接能夠?qū)⒋笮〔灰坏脑蠑嚢杈鶆?，達(dá)到增加加料數(shù)量、提升溶化速度，提高了加料管的使用，具有廣泛的實(shí)用性。