一種超級(jí)背封品再腐蝕的工藝方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711308405.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108172499A | 公開（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108172499A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-06 |
| 分類號(hào) | H01L21/02;H01L21/311;H01L21/3213 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 馬愛;賀賢漢;施煒青;張松江 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海申和熱磁電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海順華專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 顧雯 |
| 地址 | 200444 上海市寶山區(qū)寶山城市工業(yè)園區(qū)山連路181號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種超級(jí)背封品再腐蝕的工藝方法，包括如下步驟：（A）采用氨水和雙氧水混合液對(duì)超級(jí)背封品清洗兩次，去除表面顆粒和有機(jī)物污染物；（B）采用HNO3、HF以及CH3COOH組成的化學(xué)腐蝕藥液對(duì)步驟（A）中的超級(jí)背封品腐蝕8～15秒；（C）采用四甲基氫氧化銨和聚氧乙烯二苯醚混合液洗凈步驟（B）中的產(chǎn)品，去除化學(xué)腐蝕殘留的藥液、有機(jī)物及金屬沾污；（D）將步驟（C）中的產(chǎn)品傾斜放置在體積分?jǐn)?shù)為3～17.8的HF溶液中4～7min后，采用純水溢流兩次后甩干，得到再腐蝕后產(chǎn)品。 |
