一種減少覆銅陶瓷基板母板翹曲的方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201911153346.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN110993507B | 公開（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申請公布號 | CN110993507B | 申請公布日 | 2021-05-25 |
| 分類號 | H01L21/48(2006.01)I;H01L23/13(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 周軼靚;賀賢漢;戴洪興;王斌;陽強俊;陳天華 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海申和熱磁電子有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海申浩律師事務(wù)所 | 代理人 | 趙建敏 |
| 地址 | 224200 江蘇省鹽城市東臺市城東新區(qū)鴻達路18號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種減少覆銅陶瓷基板母板翹曲的方法，其特征在于：具體步驟如下：對長方形母板正反兩面進行曝光、顯影、蝕刻后，正反兩面的左右兩條長邊邊緣形成有長銅箔工藝邊，正反兩面的上下兩條短邊邊緣形成有短銅箔工藝邊，中間部位形成有多個圖形單元；所述短銅箔工藝邊上于面向圖形單元一邊上開多個缺口；通過在母板短銅箔工藝邊上設(shè)計缺口，減少短銅箔工藝邊與陶瓷的接觸面積，使母板燒結(jié)應(yīng)力釋放，從而使母板原有的翹曲減小，滿足產(chǎn)品使用要求。?? |
