一種耦合器和真空鍍膜設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822226884.9 申請日 -
公開（公告）號 CN209294532U 公開（公告）日 2019-08-23
申請公布號 CN209294532U 申請公布日 2019-08-23
分類號 F16K31/122（2006.01）I; C23C14/22（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 張國豪; 高文波 申請（專利權(quán)）人 深圳市生波爾機(jī)電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市世紀(jì)恒程知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 深圳市生波爾機(jī)電設(shè)備有限公司;廣東生波爾光電技術(shù)有限公司
地址 518000 廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值垃撜构I(yè)園B5棟南面一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種耦合器及真空鍍膜設(shè)備，其中，該耦合器包括對接座板組件、管道組件以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)；對接座板組件包括兩相對設(shè)置的第一對接座板和第二對接座板，第一對接座板上開設(shè)有第一管孔，第二對接座板上對應(yīng)第一管孔開設(shè)有第二管孔；管道組件包括自第一管孔的邊緣向背離第二對接座板的方向延伸形成的第一管道、自第二管孔的邊緣向背離第一對接座板的方向延伸形成的第二管道，且第二管道包括可沿軸向伸縮的波紋管段；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)軸，驅(qū)動(dòng)軸與第二對接座板連接，以驅(qū)動(dòng)第二對接座板朝向第一對接座板運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)第一對接座板與第二對接座板密封貼合連接。本實(shí)用新型的技術(shù)方案可提高真空鍍膜設(shè)備的管道通斷便利性。