傾斜式真空磁控連續(xù)生產(chǎn)線和真空鍍膜機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201320243235.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN203360568U 公開（公告）日 2013-12-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN203360568U 申請(qǐng)公布日 2013-12-25
分類號(hào) C23C14/56(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 謝建軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市生波爾機(jī)電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市世紀(jì)恒程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 深圳市生波爾機(jī)電設(shè)備有限公司;深圳市生波爾光電技術(shù)有限公司
地址 518000 廣東省深圳市坪山新區(qū)深圳出口加工區(qū)2號(hào)路達(dá)新小區(qū)A棟廠房第一層西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種傾斜式真空磁控連續(xù)生產(chǎn)線，包括機(jī)架和安裝在該機(jī)架上的真空室體，真空室體包括依次順序相連的兩個(gè)前緩沖室、鍍膜室和兩個(gè)后緩沖室，機(jī)架上還安裝有貫穿上述真空室體的傳送帶，傳送帶將其上攜帶有基片的金屬框送入前緩沖室前緩沖處理、再送至鍍膜室鍍膜，最后在后緩沖室內(nèi)后緩沖處理后從真空室體內(nèi)送出；金屬框的框體與水平方向呈一4-150傾斜角度。采用本實(shí)用新型的傾斜式真空磁控連續(xù)生產(chǎn)線，在基片鍍膜處理的過(guò)程中，載有基片的金屬框始終保持與水平方向呈4-150的傾斜角度，放置在金屬框上的基片可以無(wú)需夾具而直接靠放在金屬框側(cè)壁內(nèi)，所有裝片便捷快速，且生產(chǎn)中無(wú)夾具印，很容易實(shí)現(xiàn)機(jī)械手全自動(dòng)上下片。