連續(xù)式真空蒸發(fā)鍍膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310196857.0 申請日 -
公開（公告）號 CN103290364B 公開（公告）日 2015-11-18
申請公布號 CN103290364B 申請公布日 2015-11-18
分類號 C23C14/24(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉潺 申請（專利權）人 深圳市生波爾機電設備有限公司
代理機構 深圳市世紀恒程知識產(chǎn)權代理事務所 代理人 深圳市生波爾機電設備有限公司;廣東生波爾光電技術有限公司
地址 518000 廣東省深圳市坪山新區(qū)深圳出口加工區(qū)2號路達新小區(qū)A棟廠房第一層西
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種連續(xù)式真空蒸發(fā)鍍膜裝置，包括：鍍膜室、工件架和膜料架；鍍膜室一端連通第一過渡室，另一端連通第二過渡室；第一過渡室、鍍膜室、第二過渡室內(nèi)分別設有第一軌道和第二軌道；第一過渡室兩端和第二過渡室兩端分別設有插板閥；第一過渡室、鍍膜室、第二過渡室分別配置有獨立的抽氣系統(tǒng)。本發(fā)明所提供的裝置運行中，除了工件架和膜料的裝卸采用人工外，其他操作由裝置自動完成，大大提高了鍍膜效率，保證了產(chǎn)品膜層的一致性。同時鍍膜室內(nèi)可保持高真空狀態(tài)，雜質氣體少，可有效地防止膜料蒸氣被雜質氣體污染，從而可以獲得品質更優(yōu)的膜層。