一種表面改性的氧化鈰顆粒及含其的拋光液

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110003324.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112662202A 公開（公告）日 2021-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN112662202A 申請(qǐng)公布日 2021-04-16
分類號(hào) C09C1/00;C09C3/10;C09C3/12;C09C3/06;C09G1/02;C09K3/14 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 王溯;馬麗;蔣闖;張德賀;章玲然;孫濤;秦長春;寇浩東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海暉研材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 王衛(wèi)彬;何敏清
地址 201616 上海市松江區(qū)思賢路3600號(hào)2幢4樓2409室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種表面改性的氧化鈰顆粒及含其的拋光液。表面改性的氧化鈰由氧化鈰經(jīng)如式I所示的改性劑改性得到。本發(fā)明表面改性的氧化鈰顆?？捎米鰿MP磨粒，經(jīng)表面改性后可降低氧化鈰磨料的團(tuán)聚，提高其在水中的分散性能并應(yīng)用于化學(xué)機(jī)械拋光中，改善拋光后工件的表面質(zhì)量。含有本發(fā)明表面改性的氧化鈰的拋光液在氧化硅膜和氮化硅膜之間的拋光選擇比較高，溝槽部的碟陷Dishing量較低，粗糙度均方根值RMS小。