一種表面改性的氧化鈰顆粒作為拋光液磨粒的應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110010185.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112778911A 公開（公告）日 2021-05-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112778911A 申請(qǐng)公布日 2021-05-11
分類號(hào) C09G1/02;C09C1/00;C09C3/12;H01L21/3105 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 王溯;馬麗;蔣闖;秦長(zhǎng)春;章玲然;孫濤;張德賀;寇浩東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海暉研材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 王衛(wèi)彬;何敏清
地址 201616 上海市松江區(qū)思賢路3600號(hào)2幢4樓2409室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種表面改性的氧化鈰顆粒作為拋光液磨粒的應(yīng)用。表面改性的氧化鈰顆粒由氧化鈰經(jīng)如式I所示的改性劑改性得到。本發(fā)明的拋光液在氧化硅膜和氮化硅膜之間的拋光選擇比較高，溝槽部的碟陷Dishing量較低，粗糙度均方根值RMS小。