一種氧化鈰顆粒在拋光工藝中的應(yīng)用
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110004107.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112680115A | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112680115A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | C09G1/02(2006.01)I;B24B1/00(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I | 分類 | 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用; |
| 發(fā)明人 | 王溯;蔣闖;馬麗;張德賀;章玲然;孫濤;秦長(zhǎng)春;寇浩東 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海暉研材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海弼興律師事務(wù)所 | 代理人 | 王衛(wèi)彬;何敏清 |
| 地址 | 201616上海市松江區(qū)思賢路3600號(hào)2幢4樓2409室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種氧化鈰顆粒在拋光工藝中的應(yīng)用。所述氧化鈰顆粒在拋光工藝中作為拋光漿料的拋光粒子；所述氧化鈰顆粒的前驅(qū)體材料的第一顆粒尺寸為200?500μm；所述氧化鈰顆粒的拉曼光譜包含在458cm?1處的峰和583cm?1處的峰，且其中在458cm?1處的峰的強(qiáng)度與在583cm?1處的峰的強(qiáng)度的比率為峰比率，所述氧化鈰顆粒的峰比率為70?90。本發(fā)明通過(guò)控制氧化鈰顆粒的顆粒峰比率、氧化鈰顆粒的前驅(qū)體材料的顆粒尺寸在一定范圍內(nèi)，使得應(yīng)用于STI的CMP制程時(shí)，具有優(yōu)良的移除速率和選擇性，且具有不引起微劃痕或使微劃痕數(shù)量最小化的能力。?? |
