一種表面改性的二氧化硅作為磨粒的應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110003364.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112680185A 公開(kāi)（公告）日 2021-04-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN112680185A 申請(qǐng)公布日 2021-04-20
分類號(hào) C09K3/14(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 王溯;蔣闖;馬麗;孫濤;章玲然;秦長(zhǎng)春;張德賀;寇浩東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海暉研材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 王衛(wèi)彬;陳卓
地址 201616上海市松江區(qū)思賢路3600號(hào)2幢4樓2409室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種表面改性的二氧化硅作為磨粒的應(yīng)用。本發(fā)明提供了一種表面改性的二氧化硅作為磨粒的應(yīng)用，其特征在于，所述表面改性的二氧化硅由下述制備方法制備得到：在溶劑中，將二氧化硅與硅烷偶聯(lián)劑反應(yīng)，得到表面改性的二氧化硅；所述的硅烷偶聯(lián)劑為八氨苯基?POSS和/或八氯丙基?POSS。所述表面改性的二氧化硅能極大提高多晶硅相對(duì)于硅氮化物的研磨選擇性，提升對(duì)含Si材料的研磨速率，并且顯著提高對(duì)釕的研磨速率。??