一種制備表面改性的氧化鈰顆粒及含其的拋光液的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110003323.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112778970A 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN112778970A 申請公布日 2021-05-11
分類號 C09K3/14;C09C1/00;C09C3/12;C09G1/02;H01L21/311 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 王溯;蔣闖;馬麗;寇浩東;孫濤;章玲然;張德賀;秦長春 申請（專利權(quán)）人 上海暉研材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 王衛(wèi)彬;何敏清
地址 201616 上海市松江區(qū)思賢路3600號2幢4樓2409室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備表面改性的氧化鈰顆粒及含其的拋光液的方法。表面改性的氧化鈰顆粒的制備方法包括如下步驟，在如式I所示的改性劑的作用下，將氧化鈰進(jìn)行改性，得表面改性的氧化鈰顆粒。本發(fā)明制備方法制備得到的改性氧化鈰顆粒能夠作為拋光液的磨粒，其能選擇性拋光氧化硅膜，且拋光后表面粗糙度小。