一種表面改性的二氧化硅及含其的磨料組合物的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110004088.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112680186A 公開（公告）日 2021-04-20
申請公布號 CN112680186A 申請公布日 2021-04-20
分類號 C09K3/14(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 王溯;馬麗;蔣闖;章玲然;秦長春;孫濤;寇浩東;張德賀 申請（專利權(quán)）人 上海暉研材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 王衛(wèi)彬;陳卓
地址 201616上海市松江區(qū)思賢路3600號2幢4樓2409室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種表面改性的二氧化硅及含其的磨料組合物的制備方法。本發(fā)明提供了一種表面改性的二氧化硅的制備方法，其特征在于，其包括以下步驟：在溶劑中，將二氧化硅與硅烷偶聯(lián)劑反應(yīng)，得到表面改性的二氧化硅；所述的硅烷偶聯(lián)劑為八氨苯基?POSS和/或八氯丙基?POSS。本發(fā)明制備方法制備得到的表面改性的二氧化硅能極大提高多晶硅相對于硅氮化物的研磨選擇性，提升對含Si材料的研磨速率，并且顯著提高對釕的研磨速率。??