一種氧化鈰顆粒的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110004090.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112758974A 公開（公告）日 2021-05-07
申請公布號 CN112758974A 申請公布日 2021-05-07
分類號 B82Y40/00(2011.01)I;C01F17/235(2020.01)I;C09K3/14(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 王溯;馬麗;蔣闖;孫濤;章玲然;秦長春;張德賀;寇浩東 申請（專利權(quán)）人 上海暉研材料科技有限公司
代理機構(gòu) 上海弼興律師事務(wù)所 代理人 王衛(wèi)彬;何敏清
地址 201616上海市松江區(qū)思賢路3600號2幢4樓2409室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氧化鈰顆粒的制備方法，其包括以下步驟：氧化鈰顆粒的前驅(qū)體材料經(jīng)固體生成步驟制得二氧化鈰粉末，將所述二氧化鈰粉末與水混合，研磨，得含所述氧化鈰顆粒的漿料；所述氧化鈰顆粒的前驅(qū)體材料的第一顆粒尺寸為200?500μm；所述氧化鈰顆粒的拉曼光譜包含在458cm?1處的峰和583cm?1處的峰，且其中在458cm?1處的峰的強度與在583cm?1處的峰的強度的比率為峰比率，所述氧化鈰顆粒的峰比率為70?90。本發(fā)明通過控制氧化鈰顆粒的顆粒峰比率、氧化鈰顆粒的前驅(qū)體材料的顆粒尺寸在一定范圍內(nèi)，使得應(yīng)用于STI的CMP制程時，具有優(yōu)良的移除速率和選擇性，且具有不引起微劃痕或使微劃痕數(shù)量最小化的能力。??