一種真空鍍膜用基片載架夾持裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022556962.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213507181U 公開(kāi)（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN213507181U 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) C23C14/50（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李健;孫宏宇;鄧天容 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西華派光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 341800江西省贛州市全南縣工業(yè)園二區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種真空鍍膜用基片載架夾持裝置，包括頂板，頂板下方兩側(cè)對(duì)稱安裝著兩個(gè)側(cè)板，所述側(cè)板包括連接到頂板的導(dǎo)向塊和與導(dǎo)向塊平行的限位塊，導(dǎo)向塊上安裝有定位柱，定位柱的數(shù)量不小于兩個(gè)，定位柱穿過(guò)導(dǎo)向塊，定位柱上安裝著連接板，連接板位于靠近限位塊的一側(cè)，定位柱上安裝有復(fù)位彈簧，復(fù)位彈簧的兩個(gè)自由端分別固定在連接板和限位塊上，限位塊的外側(cè)安裝有電磁鐵，電磁鐵鐵芯穿過(guò)限位塊連接到連接板，限位塊上開(kāi)設(shè)有通孔，通孔與定位柱同軸且直徑大于定位柱直徑。本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空鍍膜用基片載架夾持裝置，用于在真空鍍膜過(guò)程中自動(dòng)化地取放基片載架，提高真空鍍膜效率。