一種連續(xù)可調(diào)漸變色真空電子槍鍍膜裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022559120.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213507166U 公開(kāi)(公告)日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN213507166U 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類(lèi)號(hào) C23C14/30(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李健;孫宏宇;鄧天容 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 江西華派光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 341800江西省贛州市全南縣工業(yè)園二區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種連續(xù)可調(diào)漸變色真空電子槍鍍膜裝置,包括鍍膜機(jī)腔體,鍍膜機(jī)腔體上方設(shè)有鍍膜傘具,鍍膜機(jī)腔體下方設(shè)有蒸發(fā)源,所述傘具上安裝有傾斜治具,所述傾斜治具包括固定在鍍膜傘具上的固定塊,固定塊下方安裝著基片載板,基片載板具有繞固定塊轉(zhuǎn)動(dòng)的自由度,基片載板的另一端設(shè)有連接塊,連接塊上連接著角度調(diào)節(jié)桿,角度調(diào)節(jié)桿具有繞連接塊轉(zhuǎn)動(dòng)的自由度,鍍膜傘具上開(kāi)設(shè)有通孔,角度調(diào)節(jié)桿的另一端穿過(guò)通孔伸出到鍍膜傘具的背面,角度調(diào)節(jié)桿的伸出端安裝有限位螺母。本實(shí)用新型的目的在于提供一種可以靈活調(diào)節(jié)漸變色范圍的真空電子槍鍍膜裝置,其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易操作。