一種低串?dāng)_的硅光子波分復(fù)用器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910035888.5 申請日 -
公開（公告）號 CN109669238A 公開（公告）日 2019-04-23
申請公布號 CN109669238A 申請公布日 2019-04-23
分類號 G02B6/12（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 方青; 陳曉鈴; 顧苗苗; 陳華; 張志群 申請（專利權(quán)）人 熠譜（上海）半導(dǎo)體制造有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 201306 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種低串?dāng)_的硅光子波分復(fù)用器，屬于半導(dǎo)體光信號傳輸技術(shù)領(lǐng)域。該低串?dāng)_的硅光子波分復(fù)用器，從下至上包括晶圓的襯底、晶圓的埋氧層、波導(dǎo)層和波導(dǎo)的SiO2上包層，所述波導(dǎo)層分別為微環(huán)諧振濾波器110（MRR）、傳輸波導(dǎo)120和陣列波導(dǎo)光柵130（AWG），微環(huán)諧振濾波器110通過傳輸波導(dǎo)120與陣列波導(dǎo)光柵130相連。本發(fā)明通過在硅光AWG輸入端增加微環(huán)諧振濾波器進行濾波，對波長調(diào)諧系統(tǒng)進行操作，調(diào)節(jié)微環(huán)諧振濾波器的諧振波長，使諧振波長與硅光AWG對應(yīng)波長進行匹配，對所需波長信號進行進一步濾波實現(xiàn)低串?dāng)_特性，有效解決硅光AWG器件串?dāng)_性能不佳的問題。