一種基于硅基光電探測(cè)器的生化傳感系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821727962.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209296572U 公開（公告）日 2019-08-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN209296572U 申請(qǐng)公布日 2019-08-23
分類號(hào) G01N21/45（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 方青; 陳曉鈴; 胡娟; 顧苗苗; 張志群 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 熠譜（上海）半導(dǎo)體制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201306 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種基于硅基光電探測(cè)器的生化傳感系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體光信號(hào)傳輸技術(shù)領(lǐng)域。該基于硅基光電探測(cè)器的生化傳感系統(tǒng)，包括光源、從下至上的SOI晶片的襯底、SOI晶片的埋氧層、硅層和SiO2上包層，所述硅層包括輸入波導(dǎo)、傳感元件、傳輸波導(dǎo)、示蹤元件、輸出波導(dǎo)以及探測(cè)器，光源輸出端通過輸入波導(dǎo)與傳感元件輸入端相連，傳感元件輸出端通過傳輸波導(dǎo)與示蹤元件輸入端相連，示蹤元件輸出端通過輸出波導(dǎo)與探測(cè)器相連，輸入波導(dǎo)、傳感元件、傳輸波導(dǎo)、示蹤元件、輸出波導(dǎo)以及探測(cè)器外層設(shè)有SiO2上包層。本系統(tǒng)通過硅光子生化系統(tǒng)并設(shè)置硅基光電探測(cè)器，可以有效解決生化傳感系統(tǒng)器件復(fù)雜和光譜儀昂貴的問題。