一種基于多層波導材料結構的端面耦合器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210336130.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114624821A 公開（公告）日 2022-06-14
申請公布號 CN114624821A 申請公布日 2022-06-14
分類號 G02B6/30（2006.01）I;G02B6/42（2006.01）I;G02B6/12（2006.01）I;G02B6/122（2006.01）I;G02B6/13（2006.01）I;G02B6/132（2006.01）I;G02B6/136（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 方青;馬曉悅;鄧衛(wèi);李斌;劉慶 申請（專利權）人 熠譜（上海）半導體制造有限公司
代理機構 昆明隆合知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 201306上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及基于多層波導材料結構的端面耦合器及其制備方法，本發(fā)明通過襯底層、埋氧層、第一波導層、第一隔離層、第二波導層、第二隔離層、第三波導層、上包層從下到上依次設置而成；第一波導層為兩根輸入S形波導和一根輸出波導；輸入S形波導由輸入錐形波導、輸入直波導、S形彎曲波導、輸入直波導和輸出錐形波導依次連接構成；輸出波導由輸入錐形波導、輸入直波導和輸出錐形波導依次連接構成；第三波導層的波導結構與第一波導層的波導結構相同，兩層結構中對應波導結構在垂直方向對齊；第二波導層含有一根輸出波導由輸入錐形波導和輸出直波導依次連接構成。本發(fā)明能實現(xiàn)光纖或激光器與納米線波導進行耦合，增加了對準容差，提高了耦合效率。