一種多層硅光子三維光連接結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921635661.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN210803771U | 公開（公告）日 | 2020-06-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210803771U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-19 |
| 分類號(hào) | G02B6/12(2006.01)I;G02B6/122(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 方青;陳曉鈴;顧苗苗;胡鶴鳴;張馨丹;張志群 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 熠譜（上海）半導(dǎo)體制造有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 650093云南省昆明市五華區(qū)學(xué)府路253號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種多層硅光子三維光連接結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體光信號(hào)傳輸技術(shù)領(lǐng)域。該多層硅光子包括從下至上的SOI晶圓襯底、晶圓埋氧層、反射層、n層光波導(dǎo)層和波導(dǎo)的包層，所述n層光波導(dǎo)層通過多層硅光子三維光連接結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)光在兩波導(dǎo)層之間的傳輸，三維光連接結(jié)構(gòu)包括2n?1個(gè)波導(dǎo)光柵，相鄰波導(dǎo)層的波導(dǎo)光柵刻蝕面相向。該三維光連接結(jié)構(gòu)由波導(dǎo)光柵構(gòu)成，通過成對(duì)設(shè)置正向與倒置兩波導(dǎo)光柵實(shí)現(xiàn)光在兩波導(dǎo)層之間的傳輸，可有效解決45°反射鏡放置困難或?qū)娱g高度差小，工藝難度大的問題。?? |
