一種低串?dāng)_的硅光子波分復(fù)用器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201920062736.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209446819U 公開(kāi)（公告）日 2019-09-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN209446819U 申請(qǐng)公布日 2019-09-27
分類號(hào) G02B6/12（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 方青; 陳曉鈴; 顧苗苗; 陳華; 張志群 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 熠譜（上海）半導(dǎo)體制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 650093 云南省昆明市五華區(qū)學(xué)府路253號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種低串?dāng)_的硅光子波分復(fù)用器，屬于半導(dǎo)體光信號(hào)傳輸技術(shù)領(lǐng)域。該低串?dāng)_的硅光子波分復(fù)用器，從下至上包括晶圓的襯底、晶圓的埋氧層、波導(dǎo)層和波導(dǎo)的SiO2上包層，所述波導(dǎo)層分別為微環(huán)諧振濾波器（MRR）、傳輸波導(dǎo)和陣列波導(dǎo)光柵（AWG），微環(huán)諧振濾波器通過(guò)傳輸波導(dǎo)與陣列波導(dǎo)光柵相連。本實(shí)用新型通過(guò)在硅光AWG輸入端增加微環(huán)諧振濾波器進(jìn)行濾波，對(duì)波長(zhǎng)調(diào)諧系統(tǒng)進(jìn)行操作，調(diào)節(jié)微環(huán)諧振濾波器的諧振波長(zhǎng)，使諧振波長(zhǎng)與硅光AWG對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)進(jìn)行匹配，對(duì)所需波長(zhǎng)信號(hào)進(jìn)行進(jìn)一步濾波實(shí)現(xiàn)低串?dāng)_特性，有效解決硅光AWG器件串?dāng)_性能不佳的問(wèn)題。