一種低串擾的硅光子波分復用器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920062736.X 申請日 -
公開（公告）號 CN209446819U 公開（公告）日 2019-09-27
申請公布號 CN209446819U 申請公布日 2019-09-27
分類號 G02B6/12（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 方青; 陳曉鈴; 顧苗苗; 陳華; 張志群 申請（專利權(quán)）人 熠譜（上海）半導體制造有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 650093 云南省昆明市五華區(qū)學府路253號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種低串擾的硅光子波分復用器，屬于半導體光信號傳輸技術(shù)領(lǐng)域。該低串擾的硅光子波分復用器，從下至上包括晶圓的襯底、晶圓的埋氧層、波導層和波導的SiO2上包層，所述波導層分別為微環(huán)諧振濾波器（MRR）、傳輸波導和陣列波導光柵（AWG），微環(huán)諧振濾波器通過傳輸波導與陣列波導光柵相連。本實用新型通過在硅光AWG輸入端增加微環(huán)諧振濾波器進行濾波，對波長調(diào)諧系統(tǒng)進行操作，調(diào)節(jié)微環(huán)諧振濾波器的諧振波長，使諧振波長與硅光AWG對應(yīng)波長進行匹配，對所需波長信號進行進一步濾波實現(xiàn)低串擾特性，有效解決硅光AWG器件串擾性能不佳的問題。