一種微環(huán)集成的陣列波導(dǎo)光柵波分復(fù)用器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201910231592.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109991700A 公開（公告）日 2019-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN109991700A 申請(qǐng)公布日 2019-07-09
分類號(hào) G02B6/12（2006.01）I; G02B6/122（2006.01）I; G02B6/293（2006.01）I; G02F1/01（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 方青; 顧苗苗; 陳曉鈴; 張志群 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 熠譜（上海）半導(dǎo)體制造有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201306 上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種微環(huán)集成的陣列波導(dǎo)光柵波分復(fù)用器，屬于半導(dǎo)體光信號(hào)傳輸技術(shù)領(lǐng)域。該微環(huán)集成的陣列波導(dǎo)光柵波分復(fù)用器，從下至上包括硅襯底、隔離層、波導(dǎo)層、上包層、加熱電極和電極引線，所述波導(dǎo)層包括陣列波導(dǎo)光柵、若干個(gè)傳輸波導(dǎo)和若干個(gè)微環(huán)諧振濾波器，陣列波導(dǎo)光柵中設(shè)有若干個(gè)輸出波導(dǎo)，每個(gè)輸出波導(dǎo)均通過一個(gè)傳輸波導(dǎo)連接一個(gè)微環(huán)諧振濾波器，陣列波導(dǎo)光柵中若干個(gè)輸出波導(dǎo)依次通過若干個(gè)傳輸波導(dǎo)連接若干個(gè)微環(huán)諧振濾波器組成微環(huán)集成的陣列波導(dǎo)光柵波分復(fù)用器。本發(fā)明不但能夠通過AWG進(jìn)行一次濾波、微環(huán)諧振濾波器進(jìn)行二次濾波得到優(yōu)異的串?dāng)_特性，同時(shí)確保器件的總損耗與單個(gè)AWG相當(dāng)。