一種真空可180°翻轉(zhuǎn)鍍膜夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811566408.X 申請日 -
公開（公告）號 CN109468606B 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN109468606B 申請公布日 2021-04-06
分類號 C23C14/50(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳先云;廖洪平;陳秋華;鄭平;張星;陳偉 申請（專利權）人 福建福晶科技股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 350003福建省福州市軟件大道89號F區(qū)9號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種真空可180°翻轉(zhuǎn)鍍膜夾具，包括基片夾持翻轉(zhuǎn)機構和撥動機構。本發(fā)明對表面法線具有180°對稱的兩個通光表面的待鍍基片，對第二個通光表面的鍍膜，有效消除了除膜層沉積步驟外其他的五個步驟，提高了生產(chǎn)效率。