太陽能電池片涂層工藝用等離子管制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810033283.4 申請日 -
公開（公告）號 CN101225513B 公開（公告）日 2010-06-23
申請公布號 CN101225513B 申請公布日 2010-06-23
分類號 C23C16/513(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周文華 申請（專利權(quán)）人 上海強華石英有限公司
代理機構(gòu) 上海明成云知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海強華石英有限公司;上海強華實業(yè)股份有限公司
地址 200241 上海市閔行區(qū)景東路3589號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種太陽能電池片涂層工藝用等離子管制造方法，等離子管為等離子增強化學氣相沉積管，即PECVD管，用于太陽能電池片氮化硅涂層加工工藝，按下列步驟制造：(1)選用高純石英，通過高溫電阻爐拉制出坯管，然后簡單脫羥；(2)坯管由擺式定位高速切割機按所需尺寸切割；(3)將PECVD管經(jīng)清洗、干燥后用自動烘口機進行烘口處理，使管子端面平整圓滑；(4)加工后的PECVD管待自然冷卻后再進行清洗、干燥；(5)然后將清洗完畢后的PECVD管裝入真空脫羥爐內(nèi)，待真空脫羥完成后取出PECVD管，使其自然冷卻。本發(fā)明取代了現(xiàn)有的石英玻璃管，PECVD管平均壽命為80小時以上，而價格僅為進口管的三分之一。