用于周期性光刻圖形尺寸監(jiān)控的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410126862.9 申請日 -
公開（公告）號 CN103852976B 公開（公告）日 2016-01-20
申請公布號 CN103852976B 申請公布日 2016-01-20
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 陳起偉;魏臻;孫智江;施榮華 申請（專利權）人 海迪芯半導體（南通）有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215131 江蘇省蘇州市相城區(qū)經濟開發(fā)區(qū)漕湖產業(yè)園朝陽工業(yè)坊
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于周期性光刻圖形尺寸監(jiān)控的方法，包括如下步驟：S1：調整自動光學檢測設備的灰階參數(shù)，對曝光顯影后的晶圓的膠柱進行灰度測試，通過將膠柱表面反射回來的光進行灰階運算得到灰度值；S2：對所述的膠柱進行尺寸測量得到尺寸值；S3：建立灰度值與尺寸值間的對應關系；S4：逐片進行掃描曝光顯影后的晶圓；S5：將膠柱的灰度值實時通過對應關系輸出為尺寸值。由于采用了以上技術方案，使得在藍寶石圖形化襯底領域可以將黃光蝕刻步驟后的檢測步驟得以簡化，提高了生產效率，降低了生產成本。