一種APCVD背封爐氮氣罩的固定裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123232751.0 申請日 -
公開（公告）號 CN216715536U 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN216715536U 申請公布日 2022-06-10
分類號 F16L41/08（2006.01）I;C23C16/40（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 趙晶;鄧建忠;孫超;姜振虎;滿序都;馮瑞琪 申請（專利權(quán)）人 山東有研半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 253012山東省德州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)袁橋鎮(zhèn)東方紅東路6596號（中元科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)園）A座921室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于APCVD背封爐氮氣罩的固定裝置。該固定裝置包括供氮氣罩管路穿過的主體部分、用于將氮氣罩管路與主體部分彼此緊固的固定螺母，所述主體部分具有圓柱體、設(shè)置在圓柱體上部的圓臺部，以及設(shè)置在圓臺部上部的緊固部；該緊固部外周設(shè)有螺紋，并在該緊固部的徑向上設(shè)有凹槽，所述氮氣罩管路穿過的位置與該凹槽在同一直線上；所述固定螺母具有與所述緊固部外周的螺紋匹配的內(nèi)螺紋。本實用新型能夠保證固定的密封性和緊合度，可重復(fù)多次使用，可適用于所有APCVD背封爐，具有很強的通用性。本實用新型的固定裝置顯著地減少了設(shè)備的停機時間，保證了產(chǎn)品的質(zhì)量，節(jié)約了噴頭由于斷釘造成的維修成本，杜絕了由于氮氣罩固定造成的故障發(fā)生。