一種通過(guò)監(jiān)控直拉單晶硅轉(zhuǎn)肩直徑自動(dòng)調(diào)節(jié)拉速的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111626097.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114318512A 公開(kāi)（公告）日 2022-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN114318512A 申請(qǐng)公布日 2022-04-12
分類(lèi)號(hào) C30B15/26（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 崔維學(xué);魯強(qiáng);李永博;李釗;蓋晶虎;崔彬;姜艦 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東有研半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉秀青
地址 253012山東省德州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)袁橋鎮(zhèn)東方紅東路6596號(hào)（中元科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)園）A座921室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種通過(guò)監(jiān)控直拉單晶硅轉(zhuǎn)肩直徑自動(dòng)調(diào)節(jié)拉速的方法，該方法篩選單晶轉(zhuǎn)肩形狀較好的直徑數(shù)據(jù)，作圖進(jìn)行擬合，得到擬合函數(shù)并將該函數(shù)內(nèi)嵌至PLC中；根據(jù)CCD相機(jī)測(cè)量直徑與函數(shù)給出直徑差值，通過(guò)自動(dòng)調(diào)整拉速，拉速靈敏性通過(guò)調(diào)整PID參數(shù)進(jìn)行控制，根據(jù)實(shí)際轉(zhuǎn)肩直徑與預(yù)定直徑符合程度通過(guò)調(diào)整PID參數(shù)來(lái)控制拉速，反復(fù)幾次即可調(diào)整出合適PID參數(shù)，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)肩過(guò)程自動(dòng)調(diào)節(jié)拉速。本發(fā)明的方法可以實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)肩過(guò)程的拉速自動(dòng)調(diào)控，提高轉(zhuǎn)肩的成功率和過(guò)程的可重復(fù)性。本發(fā)明的方法可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)轉(zhuǎn)肩過(guò)程，無(wú)需人為操作，避免因人為操作對(duì)單晶拉制過(guò)程造成的影響，明顯降低了人員操作強(qiáng)度，提高了生產(chǎn)效率，增加了產(chǎn)量，降低人工成本。