一種用于直拉硅單晶多次加摻摻雜劑的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202123382045.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216919476U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216919476U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B15/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 張歡;郝曉明;張宏浩;吳志強(qiáng);崔彬;姜艦;王雅楠;連慶偉;李超 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 山東有研半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 253012山東省德州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)袁橋鎮(zhèn)東方紅東路6596號(hào)（中元科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)園）A座921室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于直拉硅單晶多次加摻摻雜劑的裝置，該裝置包括籽晶和摻雜劑倉(cāng)，所述摻雜劑倉(cāng)與所述籽晶均為硅材質(zhì)，二者通過(guò)螺紋連接，摻雜劑裝載在摻雜劑倉(cāng)中。所述籽晶下端表面銑有外螺紋；所述摻雜劑倉(cāng)中間鏤空且在其上端內(nèi)壁銑有與籽晶的外螺紋嚙合的內(nèi)螺紋。所述籽晶表面的外螺紋的長(zhǎng)度大于摻雜劑倉(cāng)的內(nèi)螺紋的長(zhǎng)度。所述籽晶表面的外螺紋的長(zhǎng)度為摻雜劑倉(cāng)的內(nèi)螺紋的長(zhǎng)度的數(shù)倍。采用本實(shí)用新型的裝置來(lái)加摻摻雜劑，爐內(nèi)不必改變液面溫度條件，不會(huì)對(duì)熱場(chǎng)使用壽命造成影響。另外，通過(guò)籽晶插入液面摻雜，過(guò)程簡(jiǎn)單，耗時(shí)短，不會(huì)影響石英坩堝使用壽命。該裝置加摻摻雜劑不會(huì)存在炸裂等風(fēng)險(xiǎn)，除了摻雜劑倉(cāng)外，籽晶可實(shí)現(xiàn)多次使用。 |
