8英寸硅拋光片邊緣T型輪廓加工用倒角磨削工裝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123298154.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216731039U 公開（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN216731039U 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類號(hào) B24B9/06（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 安瑞陽;蘇冰;李軍營(yíng);李攀;劉鵬亮;蔡麗艷 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東有研半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北新智誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 253012山東省德州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)袁橋鎮(zhèn)東方紅東路6596號(hào)（中元科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)園）A座921室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種8英寸硅拋光片邊緣T型輪廓加工用倒角磨削工裝。該工裝包括鋁質(zhì)基體、開設(shè)在鋁質(zhì)基體中央位置的裝配孔、設(shè)置在鋁質(zhì)基體外周上的磨削區(qū)，在該磨削區(qū)嵌刻有多個(gè)T型磨削槽，所述T型磨削槽的內(nèi)徑從磨削槽口至頂端逐漸變小，整體呈弧形形狀，該弧形形狀與硅拋光片倒角的目標(biāo)形狀相同。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)8英寸薄硅拋光片邊緣T型輪廓的精確加工，加工精度高、重復(fù)性好，效率更高。